清华大学电子束曝光系统公开招标公告

2021年03月10日 09:02 【】





公告概要：

公告信息：
采购项目名称	清华大学电子束曝光系统
品目	货物/通用设备/仪器仪表/光学仪器/电子光学及离子光学仪器
采购单位	清华大学
行政区域	北京市	公告时间	2021年03月10日 09:02
获取招标文件时间	2021年03月10日至2021年03月17日 每日上午:8:00 至 12:00下午:12:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价	￥0
获取招标文件的地点	http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
开标时间	2021年03月31日 13:30
开标地点	北京市海淀区清华大学老环境楼103会议室
预算金额	￥250.000000万元（人民币）
最高限价	无
联系人及联系方式：
项目联系人	李美珍
项目联系电话	62785713
采购单位	清华大学
采购单位地址	清华大学老环境楼201办公室
采购单位联系方式	李美珍，62785713
代理机构名称	详见公告正文
代理机构地址	详见公告正文
代理机构联系方式	详见公告正文

项目概况 清华大学电子束曝光系统 招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2021年03月31日 13点30分（北京时间）前递交投标文件。



一、项目基本情况



项目编号：清设招第2020012号



项目名称：清华大学电子束曝光系统



预算金额：250.0000000 万元（人民币）



采购需求：

包号	名称	数量	是否允许进口产品投标	采购预算 （人民币）
01	电子束曝光系统	1套	是	250万元

设备用途介绍 ：

用于低维量子材料器件制备。

简要技术指标 ：

电子枪基本参数：二次电子分辨率≤1.0nm@15kV，≤1.6nm@1kV（无样品台减速模式下的标准模式）；标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均不小于20V~30kV，加速电压以10V为步进，连续可调；

配置全自动五轴马达驱动样品台，样品台最大行程X轴≥125mm，Y轴≥125mm，Z轴≥50mm，倾转范围不小于-10°~90°，可360°旋转；

配置镜筒内高分辨二次电子探测器和样品室内二次电子探测器。



合同履行期限：交货时间：合同签订后3个月内



本项目( 不接受 )联合体投标。



二、申请人的资格要求：



1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；



2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无



3.本项目的特定资格要求： 1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须购买招标文件并登记备案，否则没有资格投标。



三、获取招标文件



时间：2021年03月10日 至 2021年03月17日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）



地点：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn



方式：方式和地点：在《清华大学设备采购与处置信息发布平台》（http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn/）登记报名并缴纳标书费，经审核后可下载电子版招标文件； 注：登记备案时须提供公司营业执照复印件（加盖公章）、法人授权书原件（注明被授权人的联系电话和电子邮箱地址）及被授权人身份证扫描件。



售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和



四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2021年03月31日 13点30分（北京时间）



开标时间：2021年03月31日 13点30分（北京时间）



地点：北京市海淀区清华大学老环境楼103会议室



五、公告期限



自本公告发布之日起5个工作日。



六、其他补充事宜



无





七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。



1.采购人信息



名 称：清华大学　　　　　



地址：清华大学老环境楼201办公室　　　　　　　　



联系方式：李美珍，62785713　　　　　　



2.项目联系方式



项目联系人：李美珍



电　话：　　62785713