公告 真空蒸镀镀膜仪（SZTUWSJJ(BTJPP)2500026）采购公告

：2025-06-09 18:02:22阅读量：

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项目名称

真空蒸镀镀膜仪

项目编号

SZTUWSJJ(BTJPP)2500026





公示开始日期

2025-06-09 18:02:22

公示截止日期

2025-06-12 19:00:00





采购单位

深圳技术大学

付款方式

合同签订并收到发票后 10个工作日内（不得超过10个工作日），支付合同总价 50 %的款项。验收合格后，采购人支付合同总价 50%的款项





履约保证金



无履约保证金



（以保函方式或采购人(买方)可以接受的其他非现金形式提交，项目服务期满之后，经验收合格后，在30天内办理解除履约担保手续。）









联系人



中标后在我参与的项目中查看



联系电话



中标后在我参与的项目中查看







签约时间要求

成交后10工作日

到货时间要求

签约后120个自然日





预算





￥ 

199,000









供应商资质要求







; 

在中华人民共和国境内注册的有合法经营资格的国内独立法人或其他组织；须具有独立法人资格及履行本项目的能力（提供法人或者其他组织的营业执照。依法不需申请营业执照的使用法定的登记注册证明文件扫描件）

(必选)







; 

不接受联合体竞价，不允许分包

(必选)







; 

不同供应商的法定代表人、主要经营负责人、项目投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人、属同一单位或者在同一单位缴纳社会保险；不同投标供应商的投标文件不得由同一单位或者同一人编制；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加本项目采购活动

(必选)













收货地址

深圳技术大学新材料与新能源学院



















采购清单

1











采购物品

采购数量

计量单位

所属分类





真空蒸镀镀膜仪

1

台

其他真空获得及应用设备













预算



￥ 

199,000







是否进口



否





技术参数

1.真空泵组：分子泵+ 机械泵，分子泵抽速不小于1200 L/S，机械泵抽速抽速不小于30 立方米/h，达到工作要求5×10-4 Pa不能超过20分钟。 2.真空测量：配备电阻规（低真空）、电离规（高真空）。 3.工作真空度， 10 -2～ 10 -4Pa。4.蒸发源类型与数量：6 套为束源炉式有机蒸发源，3 套是电极式金属蒸发源。5. 蒸发源控制温度控制：其中有机蒸发源温度最高可到800 度，金属蒸发源最大电流可达到200A；每组蒸发源配挡板，触摸屏上控制开启。6.挡板控制：独立电动挡板，用于精确控制蒸镀起始/ 停止时刻。7.薄膜沉积性能参数：薄膜均匀性≤±5%8.沉积速率：纳米级 9.基板与样品处理参数：基片架可放置四片尺寸不小于32×32mm的基片，每个基片位均配置三个不同图形的掩模板，在真空条件下，且这三种掩膜板在真空环境下能够自由切换，同时每个基片位还配备独立挡板。而且掩膜板与基片之间实现了零间隙贴合。基片架中心有晶振探头，高度与基片相同。或放置10片尺寸不小于32×32mm的基片，在不同情况下可交替使用。衬底可旋转，转速0-30 RPM可调；基片盘下方配挡板，在预蒸发时不污染基片。10.控制系统与软件：将电气部件集成于设备机架中，采用触摸屏控制 ，并采用人机友好界面中文操控系统（系统永久使用，维护升级免费）。11安全保护: 对冷却水循环系统检测保护，温度检测保护，真空度检测保护，对泵与电源进行缺水、欠压、过压过流、断路等异常情况报警并采取有效保护措施。12.硬件与接口参数：真空腔材质，304不锈钢，长>400mm、宽>400mm、高>500mm。





售后服务

质保期：1 年，自货物验收合格之日起生效，质保期内无偿提供现场售后服务;



















深圳技术大学







2025-06-09 18:02:22





















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